熱(rè)門關(guān)鍵詞(cí)： 測角(jiǎo)儀(yí)，應力雙折射，折(zhē)射(shè)率，薄膜弱吸(xī)收，反射率(shuài)，GDD檢(jiǎn)測設(shè)備(bèi)，波片相(xiāng)位延(yán)遲，剪(jiǎn)切(qiē)
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PCI共光路幹涉(shè)弱吸收(shōu)儀(yí)測量(liáng)原理：Pump 光(泵浦光)為一(yī)束光束(shù)質量(liáng)較(jiào)好(hǎo)的(dí)強激光聚焦到待測樣(yàng)品上(shàng)，光吸收的(dí)存在(zài)將在(zài)樣品內部產(chǎn)生熱(rè)波，從而在樣(yàng)品內部形成周期性的梯(tī)度折射率分布(bù)，即熱透(tòu)鏡效應(yīng)，當一束Probe beam(探(tàn)測光)經過熱(rè)透鏡效應(yīng)區(qū)域與pump光(guāng)相交(jiāo)時(shí)，探測光在(zài)該焦點(diǎn)處(chǔ)波前發生畸(jī)變引起點(diǎn)衍射共路幹涉(shè)，並(bìng)產(chǎn)生(shēng)周期性(xìng)相(xiāng)位(wèi)畸(jī)變(biàn)信(xìn)號。探(tàn)測(cè)器(qì)通(tōng)過(guò)探(tàn)測其(qí)相位畸(jī)變(biàn)情(qíng)況(kuàng)並由(yóu)鎖(suǒ)相放大器(qì)信號處理。
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