角分辨(biàn)散射儀是(shì)一(yī)種重(zhòng)要(yào)的分(fēn)析(xī)儀器，它可以用於研(yán)究(jiū)材(cái)料(liào)的(dí)晶體結構，表(biǎo)麵(miàn)形(xíng)貌和界(jiè)麵結(jié)構等方(fāng)麵(miàn)。可(kě)以(yǐ)用於(yú)研究金屬(shǔ)表(biǎo)麵的結(jié)構(gòu)和(hé)磁性，以及納(nà)米材料的(dí)結構和性(xìng)質等(děng)。此外，還可(kě)以(yǐ)用於研究(jiū)生(shēng)物(wù)大分(fēn)子的結(jié)構(gòu)和功(gōng)能，例如(rú)蛋白質，核(hé)酸等。可(kě)以提(tí)供樣(yàng)品表麵形(xíng)貌，結構和(hé)成(chéng)分等信息(xī)，對於材料(liào)和生物(wù)大(dà)分子的研究具有重要的(dí)意義。利用(yòng)入(rù)射(shè)的高(gāo)能電(diàn)子(zǐ)或(huò)中(zhōng)子(zǐ)束與材料中原子核(hé)或(huò)電(diàn)子的相互作用，通(tōng)過測(cè)量散(sàn)射電子或中子的角(jiǎo)度分布和能量(liáng)分布來確定材料(liào)的(dí)結構信息。
使用(yòng)光(guāng)學的(dí)辦法來測量(liáng)光刻(kè)膠圖(tú)形的綫寬(kuān)等幾何尺寸的儀器稱(chēng)為(wéi)散射儀(yí)。散(sàn)射儀(scattermetry)的工作原(yuán)理是(shì)：一束(shù)光(guāng)入(rù)射在晶圓表麵(miàn)，晶圓(yuán)表麵的光(guāng)刻(kè)膠(jiāo)圖(tú)形(xíng)對入射(shè)光(guāng)產(chǎn)生散射和衍(yǎn)射，這(zhè)些含有表麵結構信息的光被探測儀接(jiē)收。對(duì)探(tàn)測(cè)儀(yí)器(qì)接(jiē)收的(dí)信(xìn)號(hào)做分(fēn)析，得到(dào)晶圓(yuán)表麵光(guāng)刻(kè)膠(jiāo)圖形(xíng)的(dí)三(sān)維(wéi)尺寸(cùn)。
角分辨散(sàn)射測量(liáng)係統-Horos(hight sensitive optical roughness sensor)簡易(yì)型散(sàn)射儀 是(shì)一(yī)種小型(xíng)的(dí)，便於移(yí)動的光學傳(chuán)感器。它以散(sàn)射(shè)測(cè)量為基(jī)礎，用於(yú)測(cè)量(liáng)從微(wēi)米(mǐ)級到(dào)亞納(nà)米級(jí)的(dí)表(biǎo)麵粗糙(cāo)程(chéng)度。被測樣本的(dí)規格從機械零件(jiàn)到具有納米結(jié)構的(dí)光學表麵(miàn)均可。
特點：
• 體(tǐ)積小，速度快: 測試時(shí)間<1s
• 非(fēi)接(jiē)觸式2D/3D測量
• 高靈敏(mǐn)度/低(dī)噪聲(shēng)：Rq<0.5nmt
• 高動態範(fàn)圍(wéi)≧1013
• 可與(yǔ)輪廓儀(yí)直(zhí)接相連(lián)並比(bǐ)較測(cè)量(liáng)結(jié)果
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