光束(shù)質量指(zhǐ)激(jī)光束(shù)的橫(héng)向和縱向斑(bān)點大小(xiǎo),斑(bān)點大小比(bǐ),橫向和縱(zòng)向輻(fú)射(shè)角(jiǎo)以及(jí)相幹(gān)度(dù)等參數(shù)。光束質(zhì)量(liáng)的好壞對(duì)激光束(shù)在(zài)光(guāng)學(xué)係(xì)統中(zhōng)的(dí)傳輸(shū)效(xiào)果(guǒ)和加工質(zhì)量(liáng)有很(hěn)大(dà)的(dí)影(yǐng)響。因(yīn)此,光束質量分析(xī)儀在激光係統(tǒng)的應(yīng)用中(zhōng)具有(yǒu)重要的(dí)意(yì)義(yì)。
激光束(shù)分析儀(yí)用於確(què)定激光束(shù)的質(zhì)量。激(jī)光束分(fēn)析儀測量(liáng)光束輪廓,平均功率,每脈衝能量(liáng),頻率和時間(jiān)脈衝(chōng)形狀(zhuàng)。許多激(jī)光(guāng)束分(fēn)析儀(yí)都(dū)是便(biàn)攜(xié)式的(dí),使(shǐ)它們能夠在(zài)製造(zào)或研(yán)究環境(jìng)中用(yòng)於(yú)多個(gè)激光器。
激光光束(shù)質(zhì)量是(shì)激光(guāng)器的一個(gè)重要(yào)技術指標(biāo),它是整個(gè)光束(shù)在空間(jiān)中傳播的特(tè)征(zhēng)。該參數(shù)可(kě)由多個測(cè)量(liáng)技(jì)術在傳播光束的幾(jī)個點(diǎn)上(shàng)進行測(cè)量。該(gāi)標準(zhǔn)定義了幾(jī)種測(cè)量技術,所有這(zhè)些技(jì)術都(dū)是基於使用CCD,刀(dāo)口和(hé)狹縫(féng)等設(shè)備(bèi)進(jìn)行的光(guāng)束(shù)輪廓測量。
測量的主(zhǔ)要要(yào)求(qiú)有(yǒu)兩(liǎng)點(diǎn):一是聚(jù)焦(jiāo)光束的(dí)測量(liáng),二是(shì)準直激(jī)光的(dí)測量。對於後(hòu)者(zhě),基本的工作原理是通(tōng)過(guò)透鏡聚焦入射(shè)的(dí)激光束,在(zài)其相對的兩(liǎng)側形成(chéng)一個(gè)腰(yāo)部(bù)位(wèi)置和一個(gè)發(fā)散(sàn)光(guāng)束。通(tōng)過多次掃(sǎo)描(miáo)和(hé)計算(suàn)0焦(jiāo)點處(chǔ)的(dí)束(shù)腰(yāo)和(hé)瑞(ruì)利長(cháng)度(dù)遠場發散,可(kě)以確定M2測量(liáng)的準(zhǔn)確值(zhí)。
光束質量(liáng)分(fēn)析儀(yí)是(shì)測量(liáng)激光(guāng)光(guāng)束(shù)的強(qiáng)度截麵(miàn)的(dí)裝置。光束質(zhì)量分析儀(yí)(光束分析儀,模式分(fēn)析(xī)儀)是(shì)一種(zhǒng)診斷(duàn)裝置(zhì),可以(yǐ)測量激(jī)光(guāng)光束的整(zhěng)個(gè)光(guāng)強(qiáng)截(jié)麵,即(jí)不僅能(néng)測量(liáng)光(guāng)束半(bàn)徑還可(kě)以測(cè)量(liáng)得到細節(jié)形狀。
光(guāng)束質量(liáng)分(fēn)析儀(yí)是(shì)一(yī)種診(zhěn)斷裝置(zhì),可以測(cè)量(liáng)激光光(guāng)束的(dí)整個光強截(jié)麵,即不僅(jǐn)能(néng)測量(liáng)光(guāng)束半(bàn)徑還可以(yǐ)測量得到細節形狀。可(kě)以用於(yú)以下(xià)方麵(miàn):定性(xìng)給出光(guāng)束截(jié)麵可(kě)以用於(yú)激光(guāng)的(dí)對(duì)準(zhǔn),而測量光(guāng)軸(zhóu)不(bù)同(tóng)位置(zhì)處的光束(shù)半徑可以(yǐ)計算 M2因子(zǐ)或(huò)者(zhě)光束參量乘(chéng)積,定(dìng)性(xìng)表征光束質量。