激光功率(shuài)計能(néng)量(liáng)計是(shì)用(yòng)來測試(shì)連續(xù)激光的(dí)功(gōng)率(shuài)或者(zhě)脈衝激光在(zài)某一段時(shí)間(jiān)的(dí)平均功率的(dí)儀器。常用到(dào)激光(guāng)能量計,用來探(tàn)測(cè)重(zhòng)復脈衝激光(guāng)的(dí)單發能量和單(dān)脈衝(chōng)激光(guāng)的(dí)能(néng)量(liáng)。Ophir的熱(rè)電堆型(xíng)激(jī)光功率計通(tōng)過熱(rè)電堆(duī)結(jié)構(gòu)將光能轉(zhuǎn)換(huàn)成(chéng)熱(rè)量,再(zài)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸(shū)出(chū),通(tōng)過(guò)校準來(lái)準確測(cè)量(liáng)激光功率(shuài)的(dí)大(dà)小(xiǎo)。一般(bān)由探(tàn)頭和顯(xiǎn)示設(shè)備(bèi)組(zǔ)成,激(jī)光功率計探(tàn)頭按照不同的原理和(hé)材(cái)料分(fēn)為熱電堆型(xíng)(thermal),光電二極管型(PD:Photodiode),以(yǐ)及包(bāo)含(hán)兩種傳感器的綜合(hé)探頭(tóu)(RP),激光能(néng)量(liáng)計(jì)則有(yǒu)熱(rè)釋電(diàn)傳感(gǎn)器(qì)(PE:Pyroelectric)和熱電堆(duī)(Thermal)傳(chuán)感(gǎn)器探(tàn)頭。
激(jī)光(guāng)功率(shuài)計(jì)能量(liáng)計常(cháng)見(jiàn)的(dí)探(tàn)頭類型(xíng):
a.光電二極管探頭
光電(diàn)二極管的結構(gòu)通常(cháng)是(shì)1個(gè)PN結(jié),中間是本(běn)征層,也稱之為(wéi)耗(hào)盡(jìn)層(céng)或耗(hào)盡區(qū),入射(shè)的光子(zǐ)在耗盡(jìn)區激(jī)發自由電子和(hé)空穴,並(bìng)引(yǐn)導它(tā)們(mén)分別向兩(liǎng)極(jí)運動,從而產生光(guāng)電(diàn)流(liú)。表(biǎo)征(zhēng)光(guāng)電二(èr)極(jí)管(guǎn)時(shí),我們會(huì)用到(dào)量子效(xiào)率,這裏(lǐ)其實(shí)是(shì)指內部量(liáng)子效(xiào)率(shuài),即(jí)產(chǎn)生的電子(zǐ)數與進(jìn)入載(zǎi)荷(hé)子區(qū)的光子數之比,用(yòng)於確定(dìng)光電(diàn)二(èr)極(jí)管的性能。光電二極(jí)管的(dí)響(xiǎng)應度,對應外(wài)部(bù)量子效(xiào)率(shuài),即(jí)產(chǎn)生的電(diàn)子(zǐ)數與所(suǒ)有到(dào)達(dá)二極(jí)管表(biǎo)麵的光子(zǐ)數之(zhī)比,包(bāo)括因(yīn)表麵反射或(huò)吸收(shōu)而沒(méi)有進入(rù)載荷(hé)子區的光子(zǐ),所(suǒ)以一(yī)般(bān)內部(bù)量子效率高於外(wài)部(bù)量子(zǐ)效率。
b.熱(rè)敏探頭
熱(rè)敏探(tàn)頭(tóu)先將光子能(néng)量轉化(huà)成(chéng)熱量,再(zài)轉化成電流。熱敏(mǐn)功率探頭(tóu)基(jī)於熱電(diàn)效(xiào)應(亦稱為塞貝(bèi)克(kè)效(xiào)應):金屬或合金的一(yī)端受熱(rè)時會釋放電(diàn)子,電子(zǐ)會(huì)朝著較冷(lěng)的一端移動,這是一種(zhǒng)隻要(yào)存在溫(wēn)度差(chà)就會產生(shēng)的(dí)現象(xiàng),產生(shēng)於金(jīn)屬(shǔ)之間。